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高溫氧化爐
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~氧化爐是賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應(yīng),請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
產(chǎn)品詳情
SiC與GaN晶圓氧化工藝設(shè)備，工藝時間短，生產(chǎn)效率高，具有出色的工藝性能。
設(shè)備特點
◎ 型號:OXIDE150
◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
◎ 全自動化系統(tǒng)和MES服務(wù)
產(chǎn)品優(yōu)勢
◎ 高溫氧化工芝時間短
◎ 工藝室縣備DCE自清洗功能
◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性
高溫氧化爐
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13401355060
產(chǎn)品詳情
SiC與GaN晶圓氧化工藝設(shè)備，工藝時間短，生產(chǎn)效率高，具有出色的工藝性能。
設(shè)備特點
◎ 型號:OXIDE150
◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
◎ 全自動化系統(tǒng)和MES服務(wù)
產(chǎn)品優(yōu)勢
◎ 高溫氧化工芝時間短
◎ 工藝室縣備DCE自清洗功能
◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性
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