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高溫退火爐
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~退火爐是賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應,請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
產(chǎn)品詳情
主要適用于SiC/GaN等各類器件的高溫退火活化工藝。
設備特點
◎ 型號:Activate 150
◎ 工藝溫度:1800℃~2050℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:1*10-3mbar
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
◎全自動化系統(tǒng)和MES服務
產(chǎn)品優(yōu)勢
◎ 高溫退火活化工藝時間約4小時
◎ 工藝室具備DCE自清洗功能
◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性
高溫退火爐
退火爐是賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司主營產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應,請來此了解詳情,采購請聯(lián)系13401355060.
13401355060
產(chǎn)品詳情
主要適用于SiC/GaN等各類器件的高溫退火活化工藝。
設備特點
◎ 型號:Activate 150
◎ 工藝溫度:1800℃~2050℃
◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?
◎ 工藝壓力:1*10-3mbar
◎ 晶圓尺寸:≤150mm
◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批
◎ 正常UP Time:98%
◎全自動化系統(tǒng)和MES服務
產(chǎn)品優(yōu)勢
◎ 高溫退火活化工藝時間約4小時
◎ 工藝室具備DCE自清洗功能
◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性
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