閉管軟著陸擴(kuò)散系統(tǒng)采用閉管擴(kuò)散的方式。碳化硅漿把石英舟放入石英管后再退出石英管,保證整個工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾,工藝性能優(yōu)異。

控制系統(tǒng)特點

◎ 軟著陸裝置采用伺服控制,性能平穩(wěn)可靠、定位準(zhǔn)確、承重量大。

◎ 管內(nèi)壓力采用閉環(huán)控制,壓強穩(wěn)定。

◎ 工藝廢氣冷卻回收，保證工藝管道清潔。

◎ 高精度溫度控制技術(shù)，系統(tǒng)可自動拉溫區(qū)。

★支持SECS/GEM通訊

主要技術(shù)指標(biāo)

Key technical parameters

◎ 工作溫度:600℃-1286℃

◎ 恒溫區(qū)長度:300~1500mm

◎ 溫區(qū)精度:±0.5℃

◎ 最大可控升溫速率:15℃/min

◎ 最大可控降溫速率:5℃/min

◎ 裝片數(shù)量:400片管(特大產(chǎn)能)

晶圓工藝指標(biāo)

◎ 片內(nèi)均勻性:<2%

◎ 片間均勻性: <2%◎ 批間均勻性: <2%

◎ 2管、3管、4管分別可選;自動裝載機械手可選。

★設(shè)備產(chǎn)能、性能、工藝指標(biāo)優(yōu)于同類進(jìn)口設(shè)備